激光切割輔助氣體主要是干燥空氣、高純氮氣或工業氧氣,當切割不銹鋼板或是切割鋁板時一般使用高純氮氣作為輔助氣體,一般壓力要求比較高。如果將氦(He)氖(Ne)激光作為代氣體激光,二氧化碳激光混合氣體是第二代氣體激光,在半導體制造領域將大量使用的氟化氪(KrF)激光,可稱為第三代激光。稀有氣體離子激光中,以氬離子激光及氪離子激光為常見。除了直接使用之外,氬離子激光常以其紫外線及藍綠光激起染料激光。
激光混合氣組分的純度有著特殊要求,包裝混合氣的鋼瓶,充裝前也必須進行干燥處理,防止污染混合氣。CO2激光輔助鼓膜成形術的總體滿意,與傳統手術相比,該手術方式具有操作簡便、創傷小、且可重復進行的優點。中性原子激光中,常見的是氦氖激光。它的紅光尤其為我們所熟悉。它的光色顯著,所以常用作非可見光激光中的指引光束(Guiding beam)。其優越的同調性及方便的操作條件(只須氣冷、110V的電壓、價格相對地),使它廣用于掃描讀碼設備及全像等。
氣體激光器的重要特點之一,激光工作物質是混合氣或單一純氣體。由于激光混合氣中組分氣的純度直接影響激光的性能,特別是氣體中氧、水、碳氫化合物等雜質的存在將導致激光輸出功率在鏡(面)和電極上的耗損,還會引起激光發射的不穩定。因此,對激光混合氣組分的純度有著特殊要求,包裝混合氣的鋼瓶,充裝前也必須進行干燥處理,防止污染混合氣。如果將氦(He)氖(Ne)激光作為代氣體激光,二氧化碳激光是第二代氣體激光,在半導體制造領域將大量使用的氟化氪(KrF)激光,可稱為第三代激光。 重要的準分子激光,以稀有氣體的鹵化物為自動介質,如ArF, KrF, XeF, KrCl, XeCl等。因為受激態常以星號(*)上標表示,所以有些數據上寫成ArF*等。準分子不會天然出現,而是在氣體混合物中放電時形成的。準分子(Excimer)激光:準分子一詞的本意,是「兩個同種原子組成,而只存在于受激態的分子」,如稀有氣體分子He2、Ar2、Xe2等;其英文原名為 Excited Dimer 組合成的術語。現在現已將它的適用范圍放寬,以包含「不存在于基態,只以受激態出現的任何雙原子分子(有時還包含三原子分子)」。
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